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扫描电子显微镜
2015-10-15 10:53   审核人:   (点击: )

仪器名称:扫描电子显微镜

仪器型号:S-4800

仪器目前所在房间:微观测试室

仪器功能简介:

依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。

仪器参数简介:

二次电子分辨率:2.0nm@1kv

1.4nm@1kv with Beam Deceleration

1.0nm@15kv

加速电压:0.5~30kv

电子枪:冷场发射电子源

放大倍数:30~8000,000倍
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